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液氩
液氩是将高纯氩气压缩成液态气,储存于杜瓦罐中。液氩使用时放出的是气相的,液氩储存在杜瓦罐中会有一个自然增压的过程,当它的压力过高时杜瓦罐会进行安全泄压,在这个自然增压和泄压的过程中,氩气很容易就被释放了。
氩气是采用空气分离提氩,即将液化的空气进行精馏,得到粗氩.抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩,高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;
在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。